芯片清洗用超純水設(shè)備參數(shù):
原水:自來水、井水、地下水、中水;
進(jìn)水壓力:0.2~0.3MPa;
運(yùn)行壓力:0.3~1.5MPa;
脫鹽率:>99%;
控制:全自動控制/手自一體化自動切換;
產(chǎn)水量:0.25~200T/H(根據(jù)客戶需求而定);
材質(zhì):PVC/304/316L/FPR;
工藝:反滲透膜分離+電去離子(EDI);
產(chǎn)水電阻率:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、5MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm等;
芯片清洗用超純水設(shè)備優(yōu)點(diǎn):
1.RO膜自動、手動沖洗
2.純水高位自動停機(jī),低水位自動開機(jī)
3.多級泵缺水保護(hù)
4.失壓、欠壓、過流、短路、斷路、漏電保護(hù)